Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jia, Chenping ; Wiemer, Maik ; Reuter, Danny ; Hiller, Karla ; Gessner, Thomas
A Method for the Fabrication of Extra-Thin Silicon Substrates
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3208-1 | |
| URL/URN: | http://www.mesago.de/de/SSI/Der_Kongress/Tagungsband/index.htm | |
| Quelle: | Smart Systems Integration 2010, Como, Italy, 2010 Mar 23-24, 2010, Nr. 75 | |
Bemerkung: |
CD-Rom |
