Ding, S.-F. ; Xie, Q. ; Waechtler, Thomas ; Lu, H.-S. ; Schulz, S. E. ; Qu, X.-P.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-1-4244-7676-3 | |
| Quelle: | International Interconnect Technology Conference (IITC), Burlingame, CA (USA), 2010 Jun 6-9; Proceedings, pp 1-3, 2010 |
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