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Nr. Titel Autor Jahr
1 Inhibition of enhanced Cu oxidation on ruthenium Ding, S.-F. et al. 2010
2 Investigations Regarding Through Silicon Via Filling for 3D Integration by Periodic Pulse Reverse Plating with and without Additives Hofmann, Lutz et al. 2010
3 Metallisierungsverfahren für die 3D Integration in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik Hofmann, Lutz et al. 2010
4 Pulse Reverse Electroplating for TSV Filling in 3D Integration Hofmann, Lutz et al. 2010
5 Controlling the Formation of Nanoparticles for Definite Growth of Carbon Nanotubes for Interconnect Applications Hermann, S. et al. 2009
6 Copper Films Grown via copper Oxide ALD: Routes and Challenges for Integration with Next-Generation Interconnect Materials Waechtler, T. et al. 2009
7 Copper Oxide ALD from a Cu(I)beta-Diketonate: Growth Studies and Application as Seed Layers for Electrochemical Copper Deposition Waechtler, T. et al. 2009
8 Electrochemical deposition of reactive nanoscale metallization systems for low temperature bonding in 3D integration Hofmann, L. et al. 2009
9 Metallisierungsverfahren für die 3D Integration in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik Hofmann, L. et al. 2009
10 Moderne Aspekte in der Materialwissenschaft Jakob, Alexander et al. 2009
11 Process Development for Smart Systems Integration in MEMS Ecke, R. et al. 2009
12 Selective deposition of aligned carbon nanotubes for NEMS applications Bonitz, J. et al. 2009
13 Study of nano-mechanical properties for thin porous films through instrumented indentation : SiO2 low dielectric constant films as an example Herrmann, Matthias et al. 2008
14 3D-integrated Si- and SiGe CMOS-devices by ICV-SLID technology Wieland, R. et al. 2007
15 Me3SiC-C–CMe-CH2 copper(I) β-diketonates: Synthesis, solid state structure, and low-temperature chemical vapour deposition Shen, Yingzhong et al. 2005
16 nBu3P-Silber(I)-ß-Diketonate: Synthese, Gasphasenuntersuchungen und Verwendung als CVD-Precursoren Schmidt, Heike et al. 2005
17 Tri-n-Butyl-Phosphan-Silber(I)-Komplexe mit Carboxylat-, Troponolat- bzw. N-Hydroxyphthalimid-Teilstrukturen; Synthese und Verwendung als Spin-On-Precursoren Jakob, Alexander et al. 2005
18 Contributions to the Static Dielectric Constant of Low-k Xerogel Films Derived from Ellipsometry and IR Spectroscopy Himcinschi, C. et al. 2004
19 Synthesis of Tri-n-butylphosphine Copper(I)--Diketonates and their use in Chemical Vapour Deposition of Copper Shen, Yingzhong et al. 2004
20 Ein- und zweikernige Kupfer(I)- und Silber(I)-Phosphan-Komplexe mit ß-Diketonato-Teilstrukturen Lang, Heinrich et al. 2003
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