Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Waechtler, T. ; Hofmann, L. ; Mothes, R. ; Schulze, S. ; Schulz, S. E. ; Gessner, T. ; Lang, H. ; Hietschold, M.
Copper Oxide ALD from a Cu(I)beta-Diketonate: Growth Studies and Application as Seed Layers for Electrochemical Copper Deposition
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 1091-8213 | |
| Quelle: | 216th ECS Meeting, Vienna (Austria), 2009 Oct 4 - 9 |
