Bonitz, J. ; Hermann, S. ; Schulz, S. E.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-3-8007-3155-8 | |
| Quelle: | GMM-Workshop "Mikro-Nano-Integration", Seeheim, März 12 - 13, 2009 |
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