Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kittler, Gabriel ; Lerner, Ralf ; Eckoldt, Uwe ; Schottmann, Klaus ; Fritzsch, Matthias ; Schramm, Michael ; Erler, Klaus ; Heinz, Steffen ; Horstmann, John Thomas
Single Trench Isolation for a 650 V SOI Technology with Low Mechanical Stress
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4244-9130-8 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/SOI.2010.5641368 | |
| Quelle: | 2010 IEEE International SOI Conference, 11-14 October 2010, San Diego, California, pp. 1-2, 2010 |
