Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fritzsch, Thomas ; Mroßko, Raul ; Baumgartner, Tobias ; Toepper, Michael ; Klein, Matthias ; Wolf, Jürgen M. ; Wunderle, Bernhard ; Reichl, Herbert
3-D Thin Chip Integration Technology - from Technology Development to Application
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-1-4244-4511-0 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/3DIC.2009.5306578 | |
| Quelle: | Proc. IEEE 3D System Integration. 3DIC 2009. Conf. San Francisco, USA, 2009. - page(s): 1 - 8 |
