Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ecke, R. ;
Froemel, J. ;
Schulz, S. E. ;
Wiemer, M. ;
Gessner, T.
VDE/VDI-Innovation + Technik GmbH
Process Development for Smart Systems Integration in MEMS
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| URL/URN: | http://www.mstnews.de online für registrierte Benutzer | |
| Quelle: | In: mst news. 2009, 3, S. 35 - 36 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS |
