Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Forke, Roman ; Scheibner, Dirk ; Hiller, Karla ; Gessner, Thomas ; Dötzel, Wolfram ; Mehner, Jan
Fabrication and Characterization of a Force Coupled Sensor-Actuator System for Adjustable Resonant Low Frequency Vibration Detection
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0924-4247 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.sna.2007.12.032 | |
| Quelle: | In: Sensors and Actuators A: Physical. - Vol. 145-146. 2008, S. 245 - 256 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Force coupling , Vibration sensor , Superheterodyne principle , Capacitive MEMS |
