Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Melzer, Marcel* ; Meinel, Katja ; Stoeckel, Chris ; Hemke, T. ; Mussenbrock, T. ; Zimmermann, Sven
Characterization of the ion angle distribution function in low-pressure plasmas using a micro-electromechanical system
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Online ISSN 1520-8559 ; Print ISSN 0734-2101 | |
| DOI: | doi:10.1116/6.0004034 | |
| URL/URN: | https://www.scopus.com/pages/publications/105000265845?origin=resultslist | |
| Quelle: | In: Journal of Vacuum Science & Technology A. - American Vacuum Society. - 43. 2025, 1, 013002 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Winkelverteilung , Mikrokanäle , Quarzkristall-Mikrowaagen , Siliziumwafer | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Angular distribution , Microchannels , Quartz crystal microbalances , Silicon wafers | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
