Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fiedler, Holger ; Fuchs, Florian ; Leveneur, Jérôme ; Nancarrow, Mitchel ; Mitchell, David R. G. ; Schuster, Jörg ; Kennedy, John*
Giant Piezoelectricity of Deformed Aluminum Nitride Stabilized through Noble Gas Interstitials for Energy Efficient Resonators
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2199-160X | |
| DOI: | doi:10.1002/aelm.202100358 | |
| URL/URN: | https://onlinelibrary.wiley.com/doi/epdf/10.1002/aelm.202100358 | |
| Quelle: | In: Advanced Electronic Materials. - Wiley. - 7. 2021, 8, 2100358 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Effect of Ion Implantation of the Piezoelectric Modulus , Influence of Implanted Species , Generated Defects for Low Fluences , Influence of Larger Fluences |
