Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Franz, Mathias* ; Junghans, Romy ; Schmitt, Paul ; Szeghalmi, Adriana ; Schulz, Stefan E.
Wafer-level integration of self-aligned high aspect ratio silicon 3D structures using the MACE method with Au, Pd, Pt, Cu, and Ir
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2190-4286 | |
| DOI: | doi:10.3762/bjnano.11.128 | |
| URL/URN: | www.beilstein-journals.org/bjnano/articles/11/128 | |
| Quelle: | In: Beilstein Journal of Nanotechnology. - Beilstein-Institut zur Förderung der Chemischen Wissenschaften. - 11. 2020, S. 1439 - 1449 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | black silicon , bottom-up , metal-assisted chemical etching (MACE) , nanowires , wafer-level integration | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
