Ergebnis der Datenbankabfrage
Nr. | Titel | Autor | Jahr |
---|---|---|---|
1 | Wafer-level integration of self-aligned high aspect ratio silicon 3D structures using the MACE method with Au, Pd, Pt, Cu, and Ir | Franz, Mathias* et al. | 2020 |
Anzahl der Ergebnisseiten: | 1 |
Anzahl der Dokumente: | 1 |