Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meszmer, Peter* ;
Hahn, Susann ;
Hiller, Karla ;
Wunderle, Bernhard
Zahn, Dietrich R. T.; Schulz, Stefan E.; Hiller, Karla; Wagner, Christian; Reuter, Danny; Otto, Thomas (Eds.)
Highly Miniaturized MEMS‐Based Test Platforms for Thermo‐Mechanical and Reliability Characterization of Nano‐Functional Elements − Technology and Functional Test Results
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1862-6319 | |
| DOI: | doi:10.1002/pssa.201800936 | |
| URL/URN: | https://doi.org/10.1002/pssa.201800936 | |
| Quelle: | In: physica status solidi (a). - Wiley Online Library, WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim. - 216. 2019, 19, S. 1800936 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS technology , MEMS nano test stage , piezoresistive force sensor , reliability characterization , thermal actuator |
