Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Roessel, Kerstin ; Berger , Birk ; Mussenbrock, Thomas ; Melzer, Marcel ; Stoeckel, Chris ; Zimmermann, Sven
MEMS based IEDF/IADF sensing: Kinetic analysis of the ion dynamics inside the sensor
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://meetings.aps.org/Meeting/GEC18/Session/GT1.50 | |
| Quelle: | 71st Annual Gaseous Electronics Conference, November 5–9, 2018; Portland, Oregon (USA) |
