Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Pousaneh, Elaheh ; Korb, Marcus ; Dzhagan, Volodymyr ; Weber, Marcus ; Noll, Julian ; Mehring, Michael ; Zahn, Dietrich R. T. ; Schulz, Stefan. E. ; Lang, Heinrich*
β-Ketoiminato-based copper(II) complexes as CVD precursors for copper and copper oxide layer formation
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Anorganische Chemie | |
| Institut 2: | Professur Koordinationschemie | |
| Institut 3: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1477-9226 ; 1477-9234 | |
| DOI: | doi:10.1039/c8dt01647j | |
| Quelle: | In: Dalton Transactions. - Royal Society of Chemistry (RSC). - 47. 2018, 30, S. 10002 - 10016 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | copper , CVD , copper oxide , Ketoiminato-based , precursor |
