Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Selbmann, Franz ; Baum, Mario ; Wiemer, Maik ; Gessner, Thomas
Deposition of Parylene C and Characterization of its Hermeticity for the Encapsulation of MEMS and Medical Devices
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-5090-1947-2 USB ISBN: 978-1-5090-1946-5 Print on Demand(PoD) ISBN: 978-1-5090-1948-9 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1109/NEMS.2016.7758283 | |
| Quelle: | The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016), Matsushima (Japan) & Sendai (Japan), 2016 Apr 17-20; Proceedings, pp 427-432 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | packaging , Parylene , CVD , hermeticity , encapsulation , MEMS , medical , Coatings , Surface treatment , Silicon , Standards , Plasma temperatur , Substrates |
