Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Bonitz, Jens ; Böttger, Simon ; Hermann, Sascha ; Hartmann, Steffen ; Schulz, Stefan E. ; Wunderle, Bernhard ; Gessner, Thomas
Wafer-level technology for integration of carbon nanotubes into micro-electro-mechanical systems
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 3: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-5090-1947-2 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1109/NEMS.2016.7758322 | |
| Quelle: | The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016), Matsushima (Japan) & Sendai (Japan), 2016 Apr 17-20; Proceedings, pp 595-599 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Carbon Nanotubes , Wafer-level Integration , NEMS , in situ TEM , Micromechanical devices , Reliability , Electrodes , Actuators , Contacts , Metals |
