Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fiedler, Holger* ; Toader, Marius ; Hermann, Sascha ; Rennau, Michael ; Rodriguez, Raul D. ; Sheremet, Evgeniya ; Hietschold, Michael ; Zahn, Dietrich R. T. ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Back-end-of-line compatible contact materials for carbon nanotube based interconnects
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 3: | Professur Analytik an Festkörperoberflächen | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2014.11.004 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering. - Elsevier. - 137. 2015, S. 130 - 134 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Carbon nanotube , Interconnect , Contact resistance, Atomic force microscopy |
