Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meinecke, Christoph Robert ; Müller, M. ; Rennau, Michael ; Bertz, Andreas ; Ebert, Robby ; Reuter, Danny ; Exner, Horst ; Gessner, Thomas
Micro Electrical Mechanical System (MEMS), Gap Reduction, laser-micro-welding
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| URL/URN: | doi:10.1109/TRANSDUCERS.2015.7181183 | |
| Quelle: | 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Transducers 2015, Anchorage, AK (USA), 2015 June 21-25, pp 1354-1357 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Micro Electrical Mechanical System (MEMS) , Gap Reduction , laser-micro-welding |
