Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meinecke, Christoph Robert ; Müller, M. ; Rennau, Michael ; Reuter, Danny ; Ebert, Robby ; Bertz, Andreas ; Exner, Horst ; Gessner, Thomas
Technologieentwicklung einer post-process Elektrodenspaltverringerung zur Herstellung von hochauflösenden Sensorsystemen
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-4100-7 | |
| Quelle: | Mikrosystemtechnik-Kongress, Karlsruhe (Germany), 2015 Oct 26 - 28; Proceedings, pp 559-562. - Berlin : VDE-Verlag, 2015 |
