Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Weidlich, Sebastian ; Forke, Roman ; Billep, Detlef ; Konietzka, Stefan ; Köhler, Daniel ; Hiller, Karla ; Gessner, Thomas
Modulare aktive Probecard zur Systemcharakterisierung von mikro-elektromechanischen Sensoren am Beispiel von Gyroskopen
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-4100-7 | |
| Quelle: | Mikrosystemtechnik Kongress, Karlsruhe (Germany), 2015 Okt 26-28; Proceedings, pp 595-598 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , gyroscope |
