Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hu, Xiao ; Schuster, Jörg ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Simulation of ALD chemistry of (nBu3P)2Cu(acac) and Cu(acac)2 precursors on Ta(110) surface
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 0167-9317 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/j.mee.2015.02.017 | |
| Quelle: | In: Microelectronic Engineering. - 137. 2015, S. 23 - 31 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Atomic layer deposition (ALD) , Cu acetylacetonate; Density functional theory (DFT) , Thermodynamic analysis , Ta(110) surface , Combustion reactions |
