Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hartmann, Steffen ; Hoelck, Ole ; Blaudeck, Thomas ; Hermann, Sascha ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas ; Wunderle, Bernhard
Molecular dynamic simulations of maximum pull-out forces of embedded CNTs for sensor applications and validating nano scale experiments
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Werkstoffe und Zuverlässigkeit mikrotechnischer Systeme | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 3: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4799-4791-1 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/EuroSimE.2014.6813830 | |
| Quelle: | 15th IEEE International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems EuroSimE 2014, Gent (Belgium), 2014 Apr 07-09; Proceedings, pp 1-6 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | atomic force microscopy , cantilevers , carbon nanotubes , correlation theory , failure (mechanical) , force sensors , gauges , intelligent sensors , molecular dynamics method , nanosensors , piezoelectric devices , scanning electron microscopy , wafer level packaging |
