Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Bertz, Andreas ;
Reuter, Danny ;
Nowack, Markus
Michel, B. (Editor-in-Chief); Otto, T.; Schulz, S.E.; Winkler, T.
AIM Technology and Devices – from Basic Research to Industrial Proven MEMS Platform
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-932434-78-5 | |
| Quelle: | In: Michel, B. (Editor-in-Chief); Otto, T.; Schulz, S.E.; Winkler, T.: Smart Systems Integration for Micro- and Nanotechnologies. - Dresden : goldenbogen verlag, 2014, S. 491 - 499 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | AIM technology |
