Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Gaitzsch, Markus ; Kurth, Steffen ; Voigt, Sven ; Haas, Sven ; Gessner, Thomas
Analysis of Au metal–metal contacts in a lateral actuated RF MEMS switch
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN: 1759-0787 ; EISSN: 1759-0795 | |
| URL/URN: | doi:10.1017/S1759078714000993 | |
| Quelle: | In: International Journal of Microwave and Wireless Technologies. - 6. 2014, 5, S. 481 - 486 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | RF-MEMS , MOEMS , Modeling , Simulation and characterizations of devices and circuits |
