Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Helke, Christian ; Enderlein, Tom ; Harazim, S. ; Nestler, Jörg ; Schmidt, O.G. ; Otto, Thomas ; Gessner, Thomas
MEMS based integration of nano scaled architectures manufactured by the rolled-up nanotech method
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| ISBN/ISSN: | 0420-0195 | |
| Quelle: | DPG-Frühjahrstagung der Sektion Kondensierte Materie (SKM), Dresden (Germany), 2014 Mar 30-Apr 04; Proceedings, 2014 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS, rolled-up nanotech method |
