Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Helke, Christian ; Enderlein, Tom ; Harazim, S. ; Nestler, Jörg ; Otto, Thomas ; Schmidt, O.G. ; Gessner, Thomas ; Queck, Hans-Herbert
Kombination von Laser- und MEMS Technologieprozessen für Integrationsstrategien von rolled-up Nano-Architekturen
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-047625-9 | |
| Quelle: | 12. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik; Chemnitz (Germany), 2014 Oct 21-22; Proceedings, pp 89-93, 2014 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS |
