Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Stöckel, Chris ; Hofmann, Kay ; Forke, Roman ; Billep, Detlef ; Gessner, Thomas
Optimization of MEMS/NEMS for reliable resonance frequencies
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3490-0 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration, Amsterdam (The Netherlands), 2013 Mar 13-14; Proceedings. - Berlin : VDE Verlag, 2013 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , NEMS |
