Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Heinz, Steffen ; Erler, Klaus ; Horstmann, John Thomas ; Neubert, Marco ; Seidel, Ralf ; Pohle, Alexander ; Gross, Christian ; Rönisch, Arthur ; Gabriel, Paul Dietmar
A monolithic integrated MEMS in a 350nm technology for filter monitoring applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-9813484-4-6 | |
| URL/URN: | doi:10.5162/sensor2013/C2.3 | |
| Quelle: | Short proceedings / AMA : AMA conferences 2013, pp. 368 - 372 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , filter contamination level , pressure sensor , RFID interface |
