Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Nowack, Markus ; Leidich, S. ; Reuter, Danny ; Kuth, Steffen ; Kuechler, Matthias ; Bertz, Andreas ; Gessner, Thomas
Micro arc welding for electrode gap reduction of high aspect ratio microstructures
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0924-4247 | |
| URL/URN: | http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2011.12.026 | |
| Quelle: | In: Sensors and Actuators A: Physical. - 188. 2012, S. 495 - 502 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Micro arc welding , electrode gap reduction of high aspect ratio microstructures | |
Bemerkung: |
Selected papers from The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems |
