Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Neubert, Marco ; Heinz, Steffen ; Erler, Klaus ; Horstmann, John Thomas ; Seidel, Ralf ; Pohle, Alexander ; Groß, Christian ; Rönisch, Arthur ; Gabriel, Paul Dietmar
A monolithic integrated MEMS in a 350 nm technology for filter monitoring applications
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-039162-0 | |
| Quelle: | 11. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 23., 24. Oktober 2012, S. 83-84 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | monolithic integrated MEMS, filter monitoring, pressure sensor, sigma delta ADC, RFID |
