Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haubold, Marco ; Lin, Yu-Ching ; Froemel, Joerg ; Wiemer, Maik ; Esashi, Masayoshi ; Gessner, Thomas
A novel approach for increasing the strength of an Au/Si eutectic bonded interface on an oxidized silicon surface
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0946-7076 (Print) 1432-1858 (Online) | |
| URL/URN: | doi:10.1007/s00542-012-1440-1 | |
| Quelle: | In: Microsystem Technologies. - 18. 2012, 4, S. 515 - 521 |
