Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Jia, Chenping ; Reuter, Danny ; Wen, Zhiyu ; Baum, Mario ; Wiemer, Maik ; Gessner, Thomas
FEM simulation and its application in MEMS design
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4577-0431-4 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/SCD.2011.6068759 | |
| Quelle: | Semiconductor Conference Dresden (SCD) 2011, Dresden (Germany), 2011 Sept 27-28; IEEE Proceedings, pp 1-4, 2011 |
