Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Waechtler, Thomas ; Mueller, Steve ; Mothes, Robert ; Tuchscherer, André ; Schubert, C. ; Lehmann, D. ; Haidu, F. ; Schaefer, P. ; Schulz, Stefan E. ; Lang, Heinrich ; Albrecht, Manfred ; Zahn, Dietrich R. T. ; Gessner, Thomas
Copper ALD for Applications in ULSI Metallization Systems and Spintronic Layer Stacks.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| URL/URN: | http://www2.imec.be/be_en/education/conferences/ald-workshop.html | |
| Quelle: | IMEC Workshop on Atomic Layer Deposition for Applications in Nanotechnology, Leuven (Belgium), 2011 Nov 28-29, 2011 |
