Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fiedler, Holger ; Hermann, Sascha ; Rennau, Michael ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Fabrication and characterisation of CNT via interconnects for application in ULSI circuits
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 1048-0854 | |
| Quelle: | Poster Presentation; 2011 Advanced Metallization Conference (AMC 2011), San Diego (USA), 2011 Oct 4-6, 2011. - Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications |
