Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Zimmermann, Sven* ; Ahner, Nicole ; Fischer, Tobias ; Schaller, M. ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
A less damage patterning regime for a successful integration of ultra low-k materials in modern nanoelectronic devices
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1946-4274 | |
| URL/URN: | doi:10.1557/opl.2011.1240 ; http://journals.cambridge.org/action/displayAbstract?fromPage=online&aid=8348134 | |
| Quelle: | In: MRS Online Proceedings Library. - 1335. 2011 |
