Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Friedrich, M.* ; Hiller, Karla ; Wiemer, M. ; Geßner, Th. ; Zahn, Dietrich R. T.
Infrared Spectroscopic Characterization of the Buried Interface and Surfaces of Bonded Silicon Wafers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Halbleiterphysik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 1432-1130 (online) ; ISSN 0937-0633 (print) | |
| DOI: | doi:10.1007/s002160050946 | |
| Quelle: | In: Fresenius' journal of analytical chemistry. - 361. 1998, 6/7, S. 558 - 559 |
