Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Friedrich, Marion ; Welzel, Thomas ; Rochotzki, Ralf ; Kupfer, Hartmut ; Zahn, Dietrich R. T.
Optical properties of nitrogen-rich carbon films deposited by d.c. magnetron sputtering
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Professur Halbleiterphysik | |
Institut 2: | Professur Physik fester Körper | |
Institut 3: | Professur Auslaufend 09/10 - Gasentladungs- und Ionenphysik | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | ISSN 0925-9635 | |
URL/URN: | doi:10.1016/S0925-9635(96)00594-8 | |
Quelle: | In: Diamond and Related Materials. - 6. 1997, 1, S. 33 - 40 |