Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Richter, Frank ; Krannich, Gregor ; Hahn, Jens ; Pintaske, Rainer ; Friedrich, Marion ; Schmidbauer, Sven ; Zahn, Dietrich R. T.
Utilization of the Cathodic Arc Evaporation for the Deposition of Boron Nitride Thin Films
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Physik fester Körper | |
| Institut 2: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0257-8972 | |
| URL/URN: | doi:10.1016/S0257-8972(96)03116-7 | |
| Quelle: | In: Surface and Coatings Technology. - 90. 1997, 1-2, S. 178 - 183 |
