Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Wagner, V. ; Drews, D. ; Esser, N. ; Zahn, Dietrich R. T. ; Geurts, J. ; Richter, W.
Raman Monitoring of Semiconductor Growth
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | 0021-8979 | |
URL/URN: | doi:10.1063/1.356644 | |
Quelle: | In: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS . - 75 . 1994 , S. 7330 - 7333 |