Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Shaporin, Alexey ; Dötzel, Wolfram ; Mehner, Jan
Test-Structures for MEMS reliability analysis
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 1619-2486 | |
| Quelle: | Proceedings of Micromaterials and Nanomaterials, Vol. 6. - Dresden : Dresden Druck, 2007, S. 227 - 227 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Test-Structures, MEMS, reliability analysis, Laser Doppler Vibrometry |
