Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hermann, Sascha ; Loschek, Sergej ; Haibo, Yu ; Bonitz, Jens ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
Integration von Kohlenstoffnanoröhren für MEMS/NEMS Anwendungen
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISBN: 978-3-00-032052-1 | |
| Quelle: | 10. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 2010 Oct 20-21, S. 70 - 71 |
