Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ahner, Nicole ; Schaller, Matthias ; Schulz, Stefan E. ; Bartsch, Christin ; Baryschpolec, Eugene
Surface energy and wetting behaviour of plasma etched porous SiCOH surfaces and plasma etch residue cleaning solutions.
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 1662-9779 | |
| URL/URN: | doi:10.4028/www.scientific.net/SSP.145-146.319 | |
| Quelle: | Solid State Phenomena. - 145 - 146.2009, pp 319 - 322 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Plasma Etch Residue , Porous Low-k , Surface Energy , Wet Cleaning , Wetting |
