Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Breidung, Morten* ; Rothe, Tom ; Lauff, Andre ; Thieme, Peter ; Langer, Jan ; Günther, Manuel ; Kuhn, Harald
Process data-driven machine learning for non-uniformity prediction and virtual metrology in chemical mechanical planarization
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Allgemein | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 3: | Professur Schaltkreis- und Systementwurf | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISSN 1572-8145 ; Print ISSN 0956-5515 | |
| DOI: | doi:10.1007/s10845-025-02753-8 | |
| Quelle: | In: Journal of Intelligent Manufacturing. - Springer Science and Business Media LLC. 2025 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Virtual metrology , Chemical mechanical planarization , Semiconductor Manufacturing , Machine Learning | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
