Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Selvam, Karman ; Saeidi, Nooshin ; Schwarzmann, Yves ; Wiemer, Maik ; Kuhn, Harald
Investigation of Capacitive Micromachined Ultrasound Transducer for NDT and material inspection in metals and alloys
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3315-0500-4 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3315-0501-1 ; Electronic ISSN: 2642-2077 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2642-2069 | |
| DOI: | doi:10.1109/i2mtc62753.2025.11079211 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/11079211 | |
| Quelle: | 2025 IEEE International Instrumentation and Measurement Technology Conference (I2MTC), 2025 May 19-22, Chemnitz (Germany). - IEEE, 2025 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | acoustic coupling , CMUT , encapsulation , Non-destructive testing , silicon micromachining , wafer bonding |
