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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Glauche, Florian ; Selbmann, Franz* ; Guttmann, Markus ; Schneider, Marc ; Hengsbach, Stefan ; Joseph, Yvonne ; Kuhn, Harald

Hot Embossing to Fabricate Parylene-Based Microstructures and Its Impact on the Material Properties


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 2073-4360 (Online)
DOI: doi:10.3390/polym16152218
URL/URN: https://www.mdpi.com/2073-4360/16/15/2218
Quelle: In: polymers. - MDPI. - 16. 2024, 15, 2218
Freie Schlagwörter (Deutsch): Heißprägen , Mikrostrukturen , Nanostrukturen , Parylene , Strukturierung , Thermoformung , 3D-Strukturen , biokompatibel , flexibles Substrat , XPS , XRD , FTIR , SEM
Freie Schlagwörter (Englisch): hot embossing , microstructures , nanostructures , Parylene , patterning , thermoforming , 3D structures , biocompatible , flexible substrate , XPS , XRD , FTIR , SEM
OA-Lizenz CC BY 4.0

 

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