Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Glauche, Florian ; Selbmann, Franz* ; Guttmann, Markus ; Schneider, Marc ; Hengsbach, Stefan ; Joseph, Yvonne ; Kuhn, Harald
Hot Embossing to Fabricate Parylene-Based Microstructures and Its Impact on the Material Properties
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
ISBN/ISSN: | 2073-4360 (Online) | |
DOI: | doi:10.3390/polym16152218 | |
URL/URN: | https://www.mdpi.com/2073-4360/16/15/2218 | |
Quelle: | In: polymers. - MDPI. - 16. 2024, 15, 2218 | |
Freie Schlagwörter (Deutsch): | Heißprägen , Mikrostrukturen , Nanostrukturen , Parylene , Strukturierung , Thermoformung , 3D-Strukturen , biokompatibel , flexibles Substrat , XPS , XRD , FTIR , SEM | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | hot embossing , microstructures , nanostructures , Parylene , patterning , thermoforming , 3D structures , biocompatible , flexible substrate , XPS , XRD , FTIR , SEM | |
OA-Lizenz | CC BY 4.0 |