Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Vasin, Andrii* ; Slobodian, Olexander ; Rusavsky, Andrii ; Gudymenko, Olexander ; Lytvyn, Petro ; Tiagulskyi, Stanislav ; Yatskiv, Roman ; Grym, Jan ; Bortchagovsky, Eugene ; Dzhagan, Volodymyr ; Zahn, Dietrich ; Nazarov, Alexei
Nanoscale morphology tailoring in plasma deposited CN x layers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Förderung: | ZA 146/43-1 | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Online ISSN: 1361-6463 ; Print ISSN: 0022-3727 | |
| DOI: | doi:10.1088/1361-6463/accc3f | |
| Quelle: | In: Journal of Physics D: Applied Physics. - IOP. - 56. 2023, 27, 275302 | |
Bemerkung: |
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| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
