Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Franz, Mathias* ; Daniel, Marcus ; Hu, Xiao ; Schulz, Stefan E.
Development of a Cobalt Atomic Layer Deposition Process using Co2(CO)6HC=CC5H11 as Precursor
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Poster | |
| DOI: | doi:10.5281/zenodo.7985165 | |
| URL/URN: | https://zenodo.org/records/7985165 | |
| Quelle: | EUROCVD/Baltic ALD 2023, 2023 May 20 - June 02, Leuven (Belgium) | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Atomic Layer Deposition (ALD) , Cobalt , Low Temperature , PEALD , XPS | |
Bemerkung: |
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| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
