Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Weber, Dominik ; Heimburger, Robert ; Schondelmaier, Gianina ; Junghans, Toni ; Zetzl, Annika ; Zahn, Dietrich R. T. ; Schondelmaier, Daniel*
Cost-effective equipment for surface pre-treatment for cleaning and excitation of substrates in semiconductor technology
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Halbleiterphysik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 2523-3963 ; 2523-3971 | |
| DOI: | doi:10.1007/s42452-022-05219-1 | |
| Quelle: | In: SN Applied Sciences. - Springer Nature. - 5. 2023, 1, 21 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Surface treatment , Contact angle measurement , Wettability , OLEDs , PDMS , TiO2 | |
Bemerkung: |
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| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
